用直流腐蚀的方法，在HF溶液中用p型单晶硅[p-Si（100）]制备了单孔Ф3μm×2μm、总孔容积0．0224mm。的多孔硅母模。用浸入置换的方......

液滴表面温度分布直接影响液滴内部微流状况，而目前文献对液滴表面温度研究主要基于平板全局加热模式。采用MEMS集成工艺和红外热像......